ULVAC 爱发科新品亮相，干泵性能迎来哪些升级？

2026‑08‑24

面对半导体、新能源、精细化工等高负荷、高腐蚀、含粉尘工艺环境，传统干式真空泵普遍存在易结垢、易腐蚀、维护频繁、停机率高等痛点。针对现场真实工况难题，ULVAC爱发科正式推出迭代版干式真空泵，在耐候性能、运行稳定性、能耗控制与运维成本四大维度实现全面升级。较于上代机型，本次新品最大的突破在于复杂工况适配能力大幅强化。核心过流部件、转子及泵腔采用全新防腐涂层工艺，对有机溶剂、弱酸碱气体、工艺挥发物具备更强耐受度，从根源降低腐蚀磨损、腔体老化问题，有效延长设备使用寿命，适配长期连续量产工况。

针对粉体、颗粒物较多的排气场景，机型优化螺杆间隙与流道结构，提升自主排尘能力，大幅减少粉尘堆积、结垢堵塞、转子卡滞等常见故障。同时增设工艺吹扫结构，可实时带走冷凝液与附着杂质，避免长期积污导致的真空度衰减，显著降低拆机保养频次。

在设备运行表现上，新机同步完成能效与降噪升级。优化电机驱动与压缩结构，整机能耗更优，长时间连续运行温升更低、运行噪音更小，产线工况适配性更强。依托无油干式真空结构，全程无油污污染，可稳定输出高洁净真空环境，满足精密制程的洁净要求。

整体来看，ULVAC本次干泵迭代，精准解决了工业真空设备“耐腐蚀差、怕粉尘、难长效、运维贵"的行业通病，可广泛适配半导体制程、真空镀膜、锂电烘干、化工蒸馏等场景，为高负荷、高洁净、高稳定性的真空产线提供更具性价比的新一代流体设备方案。