2026‑08‑19
近期，TORAY 东丽工程发布新一代微量氧分析仪，进一步把痕量氧气检测能力拓展至 ppb 级别，为半导体、新能源、高纯气体等精密制程提供更高水准的氧含量监测手段，补齐超低氧环境管控的设备需求。
新一代分析仪沿用成熟氧化锆传感技术，对传感器涂层、信号处理模块进行升级优化，降低基线漂移，实现 ppb 级微量氧稳定检测，同时兼顾 ppm 至 100% VOL 的宽量程覆盖，兼顾超低痕量检测与常规工况测量需求。设备响应速度更快，可快速捕捉腔体内部氧含量的微小波动，帮助生产端及时发现微量泄漏问题，减少因氧超标带来的产品氧化、良率下降等问题。
设备兼顾现场实用性，支持直插式与采样式多种测量形式，适配真空腔体、手套箱、热处理炉、高纯供气管路等不同现场条件，支持数字、模拟信号输出，方便对接产线控制系统，实现在线连续监测。传感器经过特殊防护处理，提升抗污染能力，降低长期运行的维护压力。
当下半导体镀膜、锂电烧结、新材料研发等领域，对气氛中残余氧的管控标准持续收紧。该新品的推出，进一步丰富东丽在微量氧检测领域的产品矩阵，为国内精密制造行业提供可靠的痕量氧监测解决方案。
