ULVAC 爱发科旋片泵如何实现高真空抽取？

一、核心结构基础

旋片泵的腔体内部装有偏心转子，转子上开槽，槽内装有可滑动的旋片。转子运转时，旋片依靠离心力紧贴泵腔内壁，把泵内空间分割成多个容积可以变化的独立气室。泵腔底部会持续填充真空泵油，油层可以填充部件之间微小缝隙。

二、气体抽取完整过程

1. 进气阶段转子转动，单个气室的容积慢慢变大，内部压力随之降低。外部被抽容器里的气体，在压差作用下，顺着进气口进入这个气室。气室转到进气口以外区域，进气通道被隔断，气体被封闭在腔体内。

2. 压缩阶段转子继续旋转，封闭气体的气室容积逐步缩小，气体受到压缩，压力不断升高。这一阶段里，泵油附着在旋片与腔体接触位置，减少气体从高压侧往低压侧返流。

3. 排气阶段当气体被压缩至高于排气阀外侧压力，顶开排气阀片，气体伴随少量油雾排出泵体。完成排气之后，气室容积再次扩大，开启下一轮抽气循环。循环持续进行，容器内气体不断减少，压力持续下降。

三、维持高真空的关键机制

1. 油密封作用泵油会在旋片、泵腔、端盖的间隙形成油膜。阻挡高压侧气体穿过缝隙回流到低压腔，回流减少，泵才能达到更低的压力。同时泵油还起到润滑、带走摩擦热量的作用。

2. 多级结构搭配不少爱发科旋片泵采用双级设计，前后两级泵腔串联。第一级先初步抽除气体，压缩后的气体送入第二级继续压缩，两级配合，相比单级旋片泵，可以获得更低的极限压力。

3. 气镇流辅助功能针对含有水汽的工况，气镇阀可以引入少量干燥空气。压缩阶段，混合气体的压力提升，避免水汽在泵腔内凝结成液体，防止油液乳化，保护密封性能，维持长期抽气稳定。

四、影响抽取效果的客观因素

旋片泵所能达到的真空水平，会受泵油品质、密封状态、进气介质成分影响。如果油液乳化、密封老化，气体返流变多，极限真空就会变差。这类泵适合抽除干燥无腐蚀性气体，大量粉尘、可凝性水汽会干扰抽气性能。

五、适用场景小结

依靠容积变化 + 油膜密封的连续循环，旋片泵可以把密闭腔体抽到低真空至高真空区间，常作为前级泵搭配更高真空设备，广泛用于镀膜、半导体、真空包装等工艺。