JASCO分光 发射台式扫描电子显微镜
肖特基 FE 电子枪台式 SEM，反射 3nm 二次 2nm 分辨率，有限空间实现高分辨快速观察。

JASCO分光 发射台式扫描电子显微镜

JASCO分光 发射台式扫描电子显微镜

Phenom Pharos 是日本分光 JASCO 代理的 Phenom 系列旗舰机型，定位台式 SEM 的最高峰型号。产品搭载肖特基型 FE 电子枪，反射电子分辨率可达 3nm，二次电子分辨率可选装至 2nm，在有限的实验室空间内即可实现高速高分辨率观察，是台式电镜领域高性能与空间效率兼顾的顶级选型。

肖特基 FE 电子枪性能

产品搭载肖特基型 FE（场发射）电子枪，电子束亮度高、束流稳定，可实现远超传统 CeB6 电子枪的分辨率表现。肖特基 FE 电子枪在低加速电压下依然能保持优异的成像性能，适配非导电样品、纳米级结构的精细观察需求，将台式电镜的成像能力提升至接近大型场发射扫描电镜的水平。

顶级高分辨率成像能力

反射电子分辨率可达 3nm，二次电子分辨率可选装至 2nm，是 Phenom 系列分辨率最高的型号，可清晰呈现纳米级的微观形貌与精细结构细节。高分辨率成像能力满足材料研发、纳米技术、半导体检测等领域的观察需求，在台式机身尺寸下即可完成过去需要大型电镜才能实现的高分辨率分析工作。

有限空间快速高分辨观察

整机保持台式 SEM 的紧凑机身设计，可直接放置在常规实验台上使用，无需专用大型实验室空间。从样品装入到高分辨率图像获取的流程精简，抽真空时间短，可快速完成观察分析，在有限的实验空间内即可实现高速高分辨率的微观观察，兼顾高性能与空间利用率。

适用场景

适用于材料科学前沿研发、纳米材料表征、半导体器件检测、制造业精密分析、高校科研实验室等对分辨率有高要求的场景，是台式扫描电镜的旗舰级选型。