OSAKA大阪真空 多级根型干式真空泵
：耐腐蚀型多级根干式真空泵，节能小型化，适配腐蚀工艺等严苛真空场景。

OSAKA大阪真空 多级根型干式真空泵

OSAKA大阪真空 多级根型干式真空泵

 ER100DC 是大阪真空 ER 系列的耐腐蚀规格多级根型干式真空泵，在延续系列节能、小型轻量化核心优势的基础上，针对腐蚀工况强化了材质与结构设计，可适配带有腐蚀性介质的工艺场景，将应用范围从轻量应用延伸至腐蚀制程，是严苛工况下的节能型干式真空解决方案。

耐腐蚀工况适配能力

产品专为带有腐蚀性介质的真空工艺优化，采用耐腐蚀规格的材质与密封结构，可耐受工艺过程中的腐蚀性气体，避免介质腐蚀泵体内部部件，延长设备在严苛工况下的使用寿命。耐腐蚀设计让干式无油的洁净真空优势得以在腐蚀制程中落地，同时避免油式泵受腐蚀介质劣化油品的问题。

同级别节能紧凑表现

延续 ER 系列的核心节能设计，到达目标真空度后的运行功耗同样为 400W，搭配怠速功能可有效控制待机能耗，即使在腐蚀工况下也能维持优异的节能表现。机身同样保持 230×450 毫米的紧凑尺寸与 60 公斤的轻量化设计，部署灵活占地小，适配腐蚀产线的紧凑工位布局。

低配套消耗稳定运行

产品同样实现了冷却水与净化气体用量的缩减，有效降低腐蚀场景下的公用工程配套成本，提升整体运行的经济性。优化的结构设计保障了腐蚀环境下的运行稳定性，可长期连续稳定工作，减少制程停机风险，保障腐蚀工艺的生产连续性。

国际标准合规可靠

整机符合国际工业标准规范，在耐腐蚀配置下依然满足*通用的设备安全与性能要求，可适配*范围的腐蚀制程产线配套。标准化的设计框架也让运维更便捷，降低了特殊工况下的设备维护门槛。

适用场景

适用于半导体腐蚀工艺、金属表面处理、化工制程、带腐蚀性介质的科研实验等严苛真空场景，是腐蚀工况下兼顾洁净与节能的干式真空选型。