OSAKA大阪真空 大流量干式真空泵
大流量无油干式真空泵，高速抽气缩短周期，CE 认证，适配中大工况真空作业。

OSAKA大阪真空 大流量干式真空泵

OSAKA大阪真空 大流量干式真空泵

DSP501 干式真空泵是大阪真空 Compact Dry 系列的大流量干式真空设备，延续无油干式的洁净结构设计，可提供更大抽气流量的洁净真空输出，满足中大型工位的真空需求。产品同样具备近大气压高速排气的性能优势，可有效缩短抽气作业时长，整机遵循 CE 安全标准设计，适配多行业的工业化真空制程。

大流量洁净真空输出

采用无油干式容积式结构，抽气过程无油污染，可输出高洁净度的真空环境，适配对介质纯净度要求高的工艺场景。更大的抽气流量可覆盖中大型真空工位的需求，单台设备即可支撑多工位或大腔体的抽气作业，减少设备部署数量。

高效抽气作业效率

优化的排气结构让设备在接近大气压时仍能维持高速排气能力，大幅缩短从常压到工作真空度的抽气时间，提升整线作业的流转效率。设备运行稳定性强，长时间连续工作下性能衰减小，可适配工业化连续生产的节奏要求。

工业级合规可靠设计

整机符合 CE 安全标准，满足国际工业设备的安全合规要求，可适配*范围的工业项目配套。设备结构坚固耐用，日常运维便捷，可适应半导体、科研、医疗制药等多领域的工业环境，长期运行可靠性有保障。

适用场景

适配半导体电子制造、科研中试设备、医疗制药生产线、航天研发测试等中大型流量的洁净真空场景，是工业化真空制程的大流量可靠选型。