OMRON欧姆龙 彩等离子监视器
欧姆龙 Z5PM 等离子监视器，监测双波长等离子发光量，实现高精度小型低成本检测。

OMRON欧姆龙 彩等离子监视器

OMRON欧姆龙 彩等离子监视器

Z5PM 等离子监视器采用 2 波长等离子发光量监测技术，实现高精度、小型化、低成本的等离子状态监测，是半导体工艺专用传感设备。在半导体刻蚀、等离子处理工艺中，等离子体状态直接决定加工效果，需要实时监控等离子发光信号，判断工艺终点、稳定工艺条件。Z5PM 通过采集两个不同波长下等离子发光强度变化，精准监测等离子状态变化。设备本体小型化设计，占用设备空间小，便于集成到等离子加工腔体配套系统。相比传统大型光谱监测设备，成本更低，同时保障检测精度，适合半导体设备配套使用。传感器响应速度快，可以实时捕捉等离子发光量波动，快速反馈工艺状态变化。可用于等离子刻蚀终点检测、等离子清洗工艺状态监控，实时判断反应进程。配套放大器可对采集信号做运算处理，设置判定阈值，到达工艺终点时输出信号，及时停止加工工序。产品适配半导体设备洁净环境，稳定连续长时间运行，满足半导体产线高可靠性要求。监测数据可接入设备控制系统，实现工艺闭环控制与生产数据记录。Z5PM 凭借双波长监测方案，兼顾高精度、小型化与成本优势，是半导体等离子工艺监测的优选传感方案。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置、空气测量泵、应变测试仪等期待您的咨询。