NKS长野计器 半导体高温压力传感器
支持最高200°C的测量！
半导体制造工艺中高温应用的压力传感器

NKS长野计器 半导体高温压力传感器

NKS长野计器 半导体高温压力传感器

ZT17‑200℃是长野计器面向半导体行业开发的高温压力传感器，采用无封入液干式传感元件，解决传统充液传感器高温工况下封液挥发、析出污染高纯工艺气体的问题，传感头部可直接承受 200℃介质温度，专用放大器单元工作温度‑20~50℃，二者分离设计，保护后端电路不受高温影响。压力量程覆盖‑0.1‑20MPa 多档位，23℃条件精度 ±0.5% F.S，15‑200℃温度补偿区间零点漂移 ±1.0% F.S、量程漂移 ±3.0% F.S，支持表压、复合压力测量模式长野计器。

接液部件焊接密封，适配半导体高纯工艺气体，接头支持 1/4VCR、1/2‑3/8VCR 等半导体设备常用规格，分为 S 形、T 形一体锻造结构，满足高洁净管路安装需求，氦检漏保障密封性能，避免介质泄露风险。供电 DC10‑30V，输出支持两线制 4‑20mA、三线制 1‑5V，对接 PLC、工控采集模块，放大器侧面带有外部零点调节旋钮，方便现场校准调试，符合 RoHS 指令要求长野计器。

对比 ZT17‑120℃充液版本，200℃型号取消内部压力传递用油，不需要加长冷却引压管路，传感器可直接安装在气化器高温管段，消除引压带来压力滞后，也避免前驱体冷凝堵塞管路。本型号无防爆认证，不可直接用于易燃易爆危险现场。

广泛用于半导体 CVD、ALD 设备、固态源气化装置，监测高温前驱体供气压力，保障薄膜沉积工艺稳定。选型确认量程、接头形式，必须配套对应专用放大器单元使用。该产品属于工艺设备集成传感器，不作为实验室计量级标准校验设备，不适合高压爆破试验高速压力采集场景。