Fuji富士技术超级计量泵
还有一种水平对冲型（-W-），标准泵头加倍，使排放量翻倍。

Fuji富士技术超级计量泵，出自日本富士技术工业株式会社，这家企业自1960年创立以来，始终专注于精密流体输送设备的研发与制造。该产品的设计初衷，是为了同时解决传统往复式计量泵在精密工艺中暴露的两大短板——流量脉动与计量偏差。

其核心技术路径相当独特。研发团队采用了一套三连特殊凸轮驱动机构，三根柱塞在凸轮型线的精确引导下，分别以等加速、匀速、等减速三种速度状态交替往复运动，彼此之间此消彼长、无缝衔接。无论在任何时刻——无论是单根柱塞独立排液，还是两根柱塞共同排液——整个系统排出的液体总量始终保持恒定。这意味着从吸入到吐出的全过程，流量输出是一条平直的线，没有传统柱塞泵那种交替换向带来的压力冲击和流量起伏。这种从机械根源上消除脉动的思路，远比外挂阻尼器或电子补偿来得更、更稳定。

计量精度是它另一张硬牌。在整个流量设定范围内，流量重复精度可达±0.1%以内，超过了不少常规流量计的测量水平。更难得的是，它的吐出量几乎不受管路背压波动和介质粘度变化的干扰，始终与电机转速保持严格的线性正比关系。调节流量时只需改变转速即可，响应直接，无需复杂的闭环反馈系统。

在工况适应性方面，这款泵覆盖范围极广。最高吐出压力可达200MPa，流量规格从15.3 mL/min到117.8 L/min横跨多个型号等级。可处理粘度高达10万mPa·s的稠厚介质，液体温度适应区间为-30℃至200℃。泵头材质可根据流体化学性质灵活搭配，从SUS316不锈钢、哈氏合金、钛合金，到PTFE、PEEK、陶瓷等非金属材料均有对应方案。

目前，Fuji富士技术超级计量泵已在多个制造领域落地应用，包括半导体行业的光刻胶与高纯化学品精密供给、锂电池电解液及浆料的高压注液、精细化工连续流反应中的精确投料，以及医药和石化领域的添加剂定量注入等。在这些对流量稳定性和重复精度要求严苛的工序中，它已成为被广泛认可的可靠设备。