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2026-08-19更新时间:2026-08-25
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APPLICS阿普里克斯臭氧水分解器
APPLICS阿普里克斯臭氧水分解器
品牌:日本 APPLICS(阿普里克斯)
型号:OZK‑U85‑S1‑EVG200G
结构:分解腔体与控制单元分离式,整机不锈钢材质
原理:紫外线照射法,紫外灯管分解水体内部溶解臭氧
功能:灯管故障提示,具备故障外部接点输出功能
适用:半导体、液晶制程纯臭氧水后端分解处理
数显面板:实时显示设备运行状态
操作按键:设备参数设置与功能切换
状态指示灯:设备运行、故障报警提示
故障报警输出接点:对接外部控制系统实现联锁报警
分体式结构,腔体与控制柜分离,适配现场管路安装;
紫外无药剂分解方式,无需添加化学药剂,二次污染少;
灯管损耗监控,故障信号可对外输出,方便接入产线自控;
不锈钢腔体,耐臭氧腐蚀,适配超纯水工艺工况;
处理流量稳定,满足半导体工艺后端臭氧水无害化处理。
半导体晶圆清洗制程、液晶面板工艺、超纯水系统、精密制造臭氧水后端降解处理。
| 产品名称 | 臭氧水解单元 |
|---|---|
| 风格 | OZK-U85-S1-EVG200G(AC100V 50/60Hz 规格) |
| 性质 | *使用条件和环境取决于所需的条件。 详情请联系上方信息。 |
| 原理 | 紫外线照射方法 |
| 电源 | 单相交流电200V±10% |
| 注释 | 分离类型、拆解塔和控制单元 、灯异常显示及每次异常发生时的外部接触输出 |