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APPLICS阿普里克斯臭氧水分解器

更新时间:2026-08-25

简要描述:

APPLICS阿普里克斯臭氧水分解器
OZK‑U85‑S1‑EVG200G 臭氧水分解器,紫外分解,分体结构,用于半导体工艺臭氧水处理。

型号:OZK-U85-S1-EVG200G点击量:5

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APPLICS阿普里克斯臭氧水分解器

APPLICS阿普里克斯臭氧水分解器

品牌:日本 APPLICS(阿普里克斯)

基础信息

  • 型号:OZK‑U85‑S1‑EVG200G

  • 结构:分解腔体与控制单元分离式,整机不锈钢材质

  • 原理:紫外线照射法,紫外灯管分解水体内部溶解臭氧

  • 功能:灯管故障提示,具备故障外部接点输出功能

  • 适用:半导体、液晶制程纯臭氧水后端分解处理

面板部件

  1. 数显面板:实时显示设备运行状态

  2. 操作按键:设备参数设置与功能切换

  3. 状态指示灯:设备运行、故障报警提示

  4. 故障报警输出接点:对接外部控制系统实现联锁报警

核心特点

  1. 分体式结构,腔体与控制柜分离,适配现场管路安装;

  2. 紫外无药剂分解方式,无需添加化学药剂,二次污染少;

  3. 灯管损耗监控,故障信号可对外输出,方便接入产线自控;

  4. 不锈钢腔体,耐臭氧腐蚀,适配超纯水工艺工况;

  5. 处理流量稳定,满足半导体工艺后端臭氧水无害化处理。

适用场景

半导体晶圆清洗制程、液晶面板工艺、超纯水系统、精密制造臭氧水后端降解处理。





产品名称臭氧水解单元
风格OZK-U85-S1-EVG200G(AC100V 50/60Hz 规格)
性质*使用条件和环境取决于所需的条件。
详情请联系上方信息。
原理紫外线照射方法
电源单相交流电200V±10%
注释分离类型、拆解塔和控制单元
、灯异常显示及每次异常发生时的外部接触输出

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