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MIYUKI 美幸辉自动压力控制器

更新时间:2026-08-06

简要描述:

MIYUKI 美幸辉自动压力控制器
配备友好触控显示屏,支持远程控制,适配真空系统。阀门运行噪音低,保障真空压力控制过程稳定,可搭配 BJ4 系列调节蝶阀组成闭环真空压力控制系统。

型号:MGCS点击量:9

  免费咨询:15510016038.

  发邮件给我们:hsy@kitazaki.cn

MIYUKI 美幸辉自动压力控制器

MIYUKI 美幸辉自动压力控制器

主要特点

  1. 控压精度 ±0.1%,压力范围 0.1‑10⁵Pa(低真空~中真空)

  2. PIDAT 自动整定,上电阀门自动回原点,7 组工艺配方存储,直接调用工艺参数,不用手动调试 PID

  3. 双路真空计输入(0‑10V 模拟),可同时接 2 台真空计,实现高低真空切换监测

  4. 操作:4 英寸单色 LCD 触摸屏,实时显示压力、阀门开度、报警信息

  5. 通讯:RS‑232C 串口 + I/O 开关量,支持 PLC、上位机远程控制、产线联锁联动

  6. 内置真空计供电:DC±15V、DC24V,直接给真空计供电,减少配件

  7. 安全:外接 UPS 不间断电源,断电自动关闭伺服阀,防止空气倒灌污染腔体与工件,带报警输出

  8. 外形:半 19 英寸机架式,尺寸 241×134×415mm,便于机柜安装

适配阀门

GAR 系列、Bar 系列伺服蝶阀(MIYUKI 原厂伺服真空阀)

典型应用

  • 真空蒸镀、溅射镀膜、光学镀膜

  • 半导体腔体、OLED/LCD 制程

  • 光伏扩散炉、科研实验真空腔体

输入输出

  • 模拟输入:2 路真空计 0‑10V

  • I/O:数字输入输出,实现启停、联锁、报警信号交互

  • 模拟输出:当前压力、阀门开度信号输出

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