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2026-07-28更新时间:2026-08-06
免费咨询:15510016038.
MIYUKI 美幸辉自动压力控制器
MIYUKI 美幸辉自动压力控制器
控压精度 ±0.1%,压力范围 0.1‑10⁵Pa(低真空~中真空)
PIDAT 自动整定,上电阀门自动回原点,7 组工艺配方存储,直接调用工艺参数,不用手动调试 PID
双路真空计输入(0‑10V 模拟),可同时接 2 台真空计,实现高低真空切换监测
操作:4 英寸单色 LCD 触摸屏,实时显示压力、阀门开度、报警信息
通讯:RS‑232C 串口 + I/O 开关量,支持 PLC、上位机远程控制、产线联锁联动
内置真空计供电:DC±15V、DC24V,直接给真空计供电,减少配件
安全:外接 UPS 不间断电源,断电自动关闭伺服阀,防止空气倒灌污染腔体与工件,带报警输出
外形:半 19 英寸机架式,尺寸 241×134×415mm,便于机柜安装
真空蒸镀、溅射镀膜、光学镀膜
半导体腔体、OLED/LCD 制程
光伏扩散炉、科研实验真空腔体
模拟输入:2 路真空计 0‑10V
I/O:数字输入输出,实现启停、联锁、报警信号交互
模拟输出:当前压力、阀门开度信号输出