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MIYUKI 美幸辉 GH 系列真空气动门阀

更新时间:2026-08-06

简要描述:

MIYUKI 美幸辉 GH 系列真空气动门阀
执行器的位置设计巧妙,缩短了整体形状。它在抵抗背压的密封性能方面表现出色。

型号:GH‑J65点击量:8

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MIYUKI 美幸辉 GH 系列真空气动门阀

MIYUKI 美幸辉 GH 系列真空气动门阀

GH 系列属于高真空专用气动门阀,专为超高真空工况开发,阀体整体 SUS304 不锈钢,可承受高温烘烤除气;采用金属密封结构设计,搭配推力倍增压紧机构;气缸带气垫缓冲,启闭冲击小;适配半导体、镀膜、科研超高真空腔体隔断;可配置单作用弹簧故障安全复位气缸、阀位信号反馈。

核心特色

  1. 支持高温烘烤,满足超高真空除气需求

  2. 推力倍增压紧机构,关阀密封压力充足

  3. 气缸内置气垫缓冲,启闭冲击小,抑制粉尘

  4. 全不锈钢阀体阀板,低出气

  5. 可选双作用、单作用弹簧复位气缸,实现断气安全关闭

  6. 可选磁感应开 / 关到位信号反馈

  7. 任意方向均可安装

完整型号清单

JIS‑J 日标法兰

GH‑J65、GH‑J80、GH‑J100、GH‑J125、GH‑J150、GH‑J200、GH‑J250

ISO‑I 法兰

GH‑I65、GH‑I80、GH‑I100、GH‑I125、GH‑I150、GH‑I200、GH‑I250

CF‑C 刀口法兰

GH‑C63、GH‑C100、GH‑C160、GH‑C200、GH‑C250

通用技术参数

  1. 阀体、阀板:SUS304 不锈钢

  2. 密封:金属密封;也可选择橡胶密封版本

  3. 工作压力:常压~1×10⁻⁸Pa 超高真空

  4. 漏率:内部密封≤1×10⁻¹¹Pa・m³/s

  5. 驱动气源:0.4‑0.6MPa 干燥洁净压缩空气

  6. 气缸:标准双作用;可选单作用弹簧复位

  7. 烘烤温度:最高 200℃(金属密封规格)

  8. 环境温度:阀体‑20~200℃;信号开关环境≤70℃

  9. 选配:磁感应开、关到位反馈开关

L / G / GH 选型对比

  1. L 系列:经济型,橡胶密封,不可烘烤;普通工业真空,不频繁动作;65‑250A

  2. G 系列:标准高性能,橡胶密封,可短时加热;镀膜、锂电真空;40‑500A

  3. GH 系列:超高真空款,支持高温烘烤,金属密封;科研、半导体超高真空腔体;65‑250A

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