2026 年 7 月 25 日讯 近日，全新 EV-H 系列干式真空泵正式实现批量量产，面向各地芯片生产工厂供货，补足先进制程真空设备配套缺口。
此次量产的 EV-H 干式真空泵针对当下 3D 堆叠芯片、先进逻辑芯片等精密制程痛点迭代升级，重点优化大流量排气性能，可稳定适配 ALD、PECVD、LPCVD 及 3D NAND 深孔加工等核心工艺，有效保障薄膜沉积均匀性，适配高负荷、高精度半导体生产需求。
相较于前代机型，EV-H 升级抗结晶、防粉尘结构，大幅抑制工艺副产物堆积，显著延长设备维保周期，有效降低晶圆厂停机损耗与运维成本。同时，设备搭载智能数字化监测系统，可实时监测运行状态、预判故障风险，精准统计能耗数据，助力产线智能化、节能化升级。
该设备采用无油洁净设计，符合行业洁净规范，杜绝晶圆污染风险。凭借低噪音、低震动、小型化的优势，可适配厂房密集安装场景，为先进半导体制程提供了高效、稳定、节能的真空解决方案，打造真空设备全新行业参考标准。
