现货特惠-FUJIKIN富士金IGS阀门
该阀门属于富士金 FINE PURE 系列，是 IGS 集成气体系统专用气动隔膜阀，半导体高纯气路核心阀件

现货特惠-FUJIKIN富士金IGS阀门  

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型号拆解

• FPR：FINE PURE 系列自动隔膜阀

• PSD：气动驱动，二段式可调流量结构

• 21.6：阀体流量规格代码

• 6.35：接口管径 6.35mm（1/4 英寸）

• UGC：VCR 金属垫片密封连接形式

• #C：版本代码

基础参数

1. 阀体材质：SUS316L 不锈钢，EP 抛光处理，禁油

2. 驱动方式：气动，常闭 NC

3. 驱动气压：0.39～0.59MPa

4. 最高使用压力：1.0MPa

5. 使用温度：-10℃～80℃

6. 泄漏标准：氦检，阀座 + 外漏均≤5×10⁻¹² Pa・m³/s

7. 流道：无流道，防止颗粒滞留

8. 接口：1/4" VCR 金属面密封

产品特点

• 金属隔膜结构，无填料，零死区，不会析出污染物，适配超高纯气体

• PSD 二段切换结构，可实现大流量、小流量两档切换，满足吹扫 / 微量供气需求

• IGS 模组化气路专用，体积紧凑，方便集成在半导体气体柜、气体面板

• 全部出厂氦检漏，耐腐蚀性气体、惰性气体，真空工况也可使用

• 内部电解抛光，低表面粗糙度，减少微粒产生

应用场景

半导体 IGS 集成气体管路、气体柜、晶圆制造高纯供气、特种腐蚀性气体输送、真空管路、分析仪器高纯流体控制。

富士金是日本流体控制元件品牌，主打高纯、高密封工况下的各类阀门产品，多用于对洁净度、泄漏控制要求严格的流体管路系统。