Mitaka三鹰光器 超精度非接触式三维测量仪
NH‑3SP 超精度非接触三维测量仪，超高分辨率，面向非球面镜片、半导体、精密模具。

Mitaka三鹰光器 超精度非接触式三维测量仪

Mitaka三鹰光器 超精度非接触式三维测量仪

NH‑3SP 为 NH 系列超精度版本，硬件做精度升级，专门针对纳米级微观形貌检测，采用非接触激光探头，不会损伤镜面、半导体晶圆这类高价值脆弱工件。设备继承系列点式自动对焦技术，在微小高度变化识别能力上大幅提升，适合光学、半导体领域的高精度检测任务。

测量范围 XYZ：150mm×150mm×10mm；XYZ 分辨率 0.01μm、0.01μm、0.001μm，Z 轴达到纳米级解析，能够识别镜面微小波纹、亚微米台阶、微阵列结构。可解析非球面面形、曲率半径、粗糙度、局部段差、透镜面形误差等参数，满足光学元件的面形评价标准。

主要用于非球面镜片、半导体器件、超精密模具检测。非球面光学镜片生产过程，需要评价面形偏差，NH‑3SP 可以直接扫描完整面形，输出面形误差云图；半导体行业检测芯片微结构、光刻台阶；超精密模具检测模仁纳米级表面纹理。非接触模式，镜面工件无需担心探针擦伤。设备支持自定义扫描路径，可局部小范围高精度扫描，也可以做大范围全域扫描。配套软件具备光学解析算法，可直接输出 PV、RMS 等光学评价指标。整机集成主机、工控电脑、报告输出单元，测量数据可保存归档，适合光学研发实验室、半导体质检部门，完成高要求纳米级三维形貌检测。