专为半导体光刻、水处理消毒及表面杀菌工艺打造的专用紫外照度计正式上市
【2026年7月·上海讯】全球精密光源及紫外检测技术 USHIO（牛尾）今日宣布，正式面向全球市场推出全新一代 UVD-C254 一体式深紫外照度计。作为 UIT-250 紫外积算光量计产品线的最新成员，该产品专为 254nm 深紫外线辐照强度的精确测量而设计，旨在为半导体光刻工艺监控、水处理消毒剂量验证、表面杀菌及科研实验等领域提供一套高精度、便携式的标准化检测工具。
这是 USHIO 在深紫外检测领域推出的又一款专业化新品，其上市标志着 254nm 波段现场级精确测量从依赖通用探头的“估算模式"迈入了专用仪器“精准量化"的新阶段。
精准锁定 254nm，从源头保证测量纯正
254nm 紫外线是水处理、空气净化和表面消毒的核心有效波段，同时也是部分特殊光刻工艺的关键谱线。然而，实际测量环境中往往混杂着 365nm UVA、可见光及其他杂散光，传统宽谱探头容易产生“虚假读数"，导致测量偏差。
全新 UVD-C254 从源头解决这一痛点。新品内部搭载高灵敏度硅光电二极管与专用窄带干涉滤光片的组合，光谱响应峰值精确锁定于 254nm，灵敏度波长范围收窄至 220nm~310nm，而对 365nm（UVA）及可见光波段的响应抑制比大于 10⁻³。这一纯物理层面的光谱选择性，确保用户即使在高杂散光工业环境中，也能读取到纯净、真实的 254nm 辐射强度数据。
三大核心技术，保障工业级测量可靠性
作为一款面向工业现场的新品，UVD-C254 在核心性能上做足了功课：
宽量程高线性：支持 0.001~99.99 mW/cm² 三档量程手动切换，覆盖从微弱泄漏检测到强光辐照测量的全场景需求。新品内置分段线性补偿算法，全量程非线性误差控制在 ±1% 以内，高低量程切换无需频繁归零，大幅提升现场效率。
热漂移主动抑制：针对 UVC 光源普遍伴随热辐射的特点，新品在探头基座集成热补偿电阻网络，0~50℃工作温度范围内温度漂移系数优于 ±0.2%/℃，确保长时间连续测量的数据重复性。
一体化便携设计：探头与主机一体化手持式结构，体积小巧，配以大尺寸液晶显示屏，可同步显示实时照度、峰值保持值与电池电量，支持一键归零与峰值锁定，便于在狭窄设备腔体或高空管线间单手操作。
适配模块化平台，一机覆盖全紫外波段
UVD-C254 与 USHIO UIT-250 紫外积算光量计主机兼容。用户仅需更换不同型号的受光部（如 UVD-C365 用于 365nm 测量、UVD-S405 用于 405nm 测量等），即可实现从 172nm 深紫外到 405nm 近紫外全波段的精准测量覆盖。这一模块化设计使一台主机能够灵活适配光刻、固化、消毒等不同工艺场景的检测需求，有效降低用户的综合设备成本。
上市反馈积极，应用前景广阔
新品在近期光学博览会上提前亮相并设立体验专区，吸引了来自半导体制造、水处理工程、表面杀菌及科研院所等领域专业人士的关注与试用。多位体验者表示，UVD-C254 的便携性与测量准确性超出了预期，尤其对设备维护阶段的灯管老化判断和消毒工艺的剂量验证提供了直接的量化依据。
USHIO 检测事业部负责人表示：“UVD-C254 的推出，是我们响应行业对 254nm 波段精确检测刚性需求的重要举措。我们希望通过这款产品，帮助用户将紫外工艺从‘凭经验开灯’升级为‘靠数据管控’，为提升工艺一致性和降低运维风险提供可靠的技术支撑。"
