放置要求:设备摆放于防震、水平实验台,远离空调直吹、阳光直射、化学挥发试剂;环境温湿度控制 20±5℃、湿度 40%–70% 无凝露。
硬件接线:连接主机电源、USB 数据线、光谱探测器、相机、自动 XYZ 载物台;确认 15× 标准反射物镜安装到位,无松动。
光学部件检查:擦镜纸蘸无水乙醇擦拭物镜端面、载物台玻璃、标准反射白板,无指纹、粉尘、划痕;禁止普通纸巾触碰镜头。
样品预处理:待测样品表面抛光洁净,无油污、颗粒、氧化层;曲面 / 薄膜样品配套 Θ 倾斜治具固定;微小零件使用导电无痕载片定位。
开机顺序:先开启计算机→启动光谱控制软件→接通设备主机电源→等待光源、载物台、CCD 探测器自检完成(约 90 秒)。
紫外可见:250–900nm
通用可见光:380–1050nm / 400–1100nm
近红外光学元件:900–1650nm
设置路径:软件菜单栏「System」→「Spectral Unit」,选定波段后点击 Apply 确认,系统自动重置探测器参数。
曝光积分时间:自动 Auto 模式;低反射薄膜手动设 50–200ms,高反射镜片 10–50ms
平均采样次数:常规检测 10 次,高精度来料检验 30–50 次(降低噪声)
波长步长:常规检测 5nm;研发精密光谱 1nm
测量光斑:默认 φ30μm 微区反射光斑(15× 物镜固定光斑尺寸,不可手动修改)
光源功率:卤素灯输出 70%–80%,长期满功率会缩短光源寿命。
设置保存:参数调整完成后点击「Save Preset」,命名保存为通用反射测量模板,下次直接调用。
XY 轴行程限制:标准 50mm 范围,勾选软限位,防止样品撞击物镜;移动速度设中速。
Z 轴自动对焦参数:对焦搜索深度 ±100μm,对焦精度 0.1μm;曲面样品开启曲面顶点识别功能。
多样品托盘模式:批量检测勾选「Palette Multi-sample」,输入多点坐标实现自动连续测量。
关闭设备测量光源,物镜上方加盖遮光罩,隔绝环境杂光。
软件进入「Calibration」→「Dark Spectrum」,点击采集,等待采样平均完成,保存暗基线文件。
适用场景:更换波段、重启设备、环境亮度变化、连续工作 2 小时后需重新采集。
取下遮光罩,将原厂标准高反射白板平放载物台,移动载物台使光斑落在白板中心平整区域。
打开可视化相机光源,自动对焦至白板表面,图像清晰无虚影。
切换至测量卤素光源,点击「Reference Spectrum」采集全波段标准反射光谱,系统自动记录 100% 反射基准曲线。
取下标准白板,放置待测样品,固定载片 / 倾斜治具。
打开可视化白光相机,低倍率预览,移动 XY 载物台,将待测区域移动至光斑十字中心。
启动 Auto Focus 自动对焦,Z 轴自动寻找到样品表面顶点;手动微调细焦旋钮,相机画面边缘锐利无模糊。
确认光斑落在有效检测区域,无跨样品边缘、无台阶遮挡。
关闭可视化白光光源,仅保留光谱测量卤素光源。
点击软件「Measure」单次测量;批量检测可导入坐标列表执行 Auto Scan 自动扫描。
测量实时显示全波段反射率曲线、各波长反射率数值、平均反射率、最小 / 最大反射峰值。
同一点重复测量 3 次,曲线重合无明显偏移,判定数据稳定;偏差过大重新校准白板与暗基线。
薄膜 / 多层光学件:软件开启薄膜拟合功能,自动输出膜层反射曲线与干涉峰位置。
数据保存格式:CSV 光谱原始数据、JPG 曲线图谱、PDF 检测报告。
良劣判定设置:「Limit Judgment」界面输入目标波长反射率上下限,测量完成自动标记 OK/NG。
批量文件命名规则:自定义样品编号、检测日期、点位坐标自动归档。
光源功率调至 0%,关闭测量卤素灯、可视化相机光源。
Z 轴载物台复位至安全低位,XY 轴归中,取下样品与标准白板。
软件关闭,断开设备 USB 与主机电源,清洁物镜与载物台玻璃。
镜头加盖防尘盖,整机套防尘罩,标准白板存放防潮盒避光保存。
每日使用前后清洁物镜、载物台;每周清洁光谱探测器窗口。
卤素灯累计使用 2000 小时更换,避免光源衰减导致反射率整体偏低。
标准白板 3 个月校准一次,表面划伤、发黄立即更换。
光谱噪声大、曲线毛刺多:增加采样平均次数、重新采集暗基线、清洁物镜、降低环境杂光。
反射率数值整体偏低:白板污染 / 老化、光源功率不足、对焦偏移、光斑偏离样品平整区。
自动对焦失败:样品表面凹凸过大、Z 轴限位异常、物镜脏污,手动对焦后开启曲面顶点模式。
载物台移动卡顿:清理轨道粉尘,检查载物台驱动接线,重启设备复位电机。
波段切换无信号:光谱模块接触不良,断电重新插拔分光单元,重新加载波段参数。